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电子探针显微分析仪 EPMA-8050G

品牌/型号:岛津/EPMA-8050G

电子探针显微分析仪 EPMA-8050G

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产品详情

“The Grand EPMA” 诞生


搭载最***场发射电子光学系统 

将岛津EPMA分析性能发挥到***


从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的***场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪,将分析性能发挥至***。


当之无愧的“The Grand EPMA” ,***水准的EPMA诞生!


超高分辨率面分析


对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像(左侧)上直径只有50nm左右的Sn颗粒,在X射线图像(右侧)上也是清晰可见。


最***技术实现

■ 无与伦比卓越的空间分辨率

EPMA可达到的***别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV)分析条件下No.1的二次电子分辨率。

(加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)


■ 二次电子图像***分辨率3nm

碳喷镀金颗粒的观察实例。实现***分辨率

3nm(@30kV)。相对较高的束流也可将电子束压

细聚焦,更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

■ 大束流超高灵敏度分析 

实现3.0μA(加速电压30kV)的***束流。

全束流范围无需更换物镜光阑。


■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪

无人可及的52.5°X射线取出角。

4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。

最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。


■ 全部分析操作简单易懂 

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。

追求「易懂」的人性化用户界面。

搭载导航模式,自动指引直至生成报告。


超高灵敏度面分析


使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相(左侧),同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前(右侧)。



实现微区超高灵敏度分析的先进技术                                              




1. 高亮度肖特基发射体 

场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大,输出更高。即可以保持其高亮度,还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。


2.  EPMA专用电子光学系统 

电子光学系统,聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧,交叉点不是靠聚光透镜形成,而是由安装在与物镜光阑相同位置上,具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的(日本专利:第4595778号)。简单的透镜结构,既能获得大束流,同时全部电流条件下设定最合适的打开角度,将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。


3. 超高真空排气系统 

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小,以控制流入中间室的气体,使电子枪室始终保持着超高真空,确保发射体稳定工作。


4. 高灵敏度X射线谱仪 

最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时,又可减小样品对X射线的吸收,实现高灵敏度的分析。



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“The Grand EPMA” 诞生


搭载最***场发射电子光学系统 

将岛津EPMA分析性能发挥到***


从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的***场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪,将分析性能发挥至***。


当之无愧的“The Grand EPMA” ,***水准的EPMA诞生!


超高分辨率面分析


对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像(左侧)上直径只有50nm左右的Sn颗粒,在X射线图像(右侧)上也是清晰可见。


最***技术实现

■ 无与伦比卓越的空间分辨率

EPMA可达到的***别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV)分析条件下No.1的二次电子分辨率。

(加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)


■ 二次电子图像***分辨率3nm

碳喷镀金颗粒的观察实例。实现***分辨率

3nm(@30kV)。相对较高的束流也可将电子束压

细聚焦,更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

■ 大束流超高灵敏度分析 

实现3.0μA(加速电压30kV)的***束流。

全束流范围无需更换物镜光阑。


■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪

无人可及的52.5°X射线取出角。

4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。

最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。


■ 全部分析操作简单易懂 

全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。

追求「易懂」的人性化用户界面。

搭载导航模式,自动指引直至生成报告。


超高灵敏度面分析


使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相(左侧),同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前(右侧)。



实现微区超高灵敏度分析的先进技术                                              




1. 高亮度肖特基发射体 

场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大,输出更高。即可以保持其高亮度,还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。


2.  EPMA专用电子光学系统 

电子光学系统,聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧,交叉点不是靠聚光透镜形成,而是由安装在与物镜光阑相同位置上,具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的(日本专利:第4595778号)。简单的透镜结构,既能获得大束流,同时全部电流条件下设定最合适的打开角度,将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。


3. 超高真空排气系统 

电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小,以控制流入中间室的气体,使电子枪室始终保持着超高真空,确保发射体稳定工作。


4. 高灵敏度X射线谱仪 

最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时,又可减小样品对X射线的吸收,实现高灵敏度的分析。



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